无锡马兰戈尼分公司产品
Lift-up Dryer (提升式干燥机)
NEO系列提升式干燥机是最先进的Marangoni干燥机
能够在纳米尺度上有效控制粒子的装置
◆ 主要特点
- 以最低颗粒数实现终极干燥性能
- 最短处理时间
- 优化小占地面积
- 经过20多年的实地运营验证的质量
- 与各种湿式蚀刻机型出色的设备兼容性
- 晶圆尺寸可达12寸
◆ 产品中心
- 晶圆、MEMS、光电子、相片掩膜、玻璃基板
◆ 材料配置
- Si,SiC, GaN, 蓝宝石, 玻璃, 石英
◆ 干燥机工艺
RD : 冲洗+干燥
FRD :氢氟酸+冲洗+干燥
◆ 重要技术特点
- 室温下的IPA工艺
- 精确的流量控制
- 零件材料免受化学损伤
- 单向流
- 无水印
- 圆顶式多任务室
Swing Dryer (摆动式干燥机)
摆动式干燥机是一种最先进、最有效的盒式马兰戈尼干燥设备
◆ 主要特点
- 优化小占地面积
- 经过20多年的实地运营验证的质量
- 在加工过程中没有破碎的晶圆
- 与各种湿式蚀刻机型出色的设备兼容性
- 晶圆尺寸可达12寸
◆ 产品中心
- 晶圆、MEMS、光电子、相片掩膜、玻璃基板
◆ 干燥机工艺
RD : 冲洗+干燥
FRD :氢氟酸+冲洗+干燥
◆ 重要技术特点
- 精确的流量控制
- 零件材料免受化学损伤
- 单向流
- 无水印
- 圆顶式多任务室
- 薄晶圆工艺
- 热N2喷嘴
Hot DI-Water System (热纯水系统)
适合半导体硅晶片及LCD Glass基板冲洗的理想用途的超纯热水供应系统。
热纯水水系统加热半导体制造中用于冲洗硅晶片的纯水，也用于LCD玻璃基板的制造。。
卤素灯容纳在透明双层壁的高纯度石英玻璃管中，确保超纯水高效、无污染加热。
采用纤薄、紧凑的设计,在狭窄的空间里也能安装的脚点。
◆ 产品特点
1.清洁：流动水的高纯度石英取暖容器及氟碳聚合物制成的管道用管道
2.紧致：紧凑的设计,在狭窄的空间里也能安装的脚点
3. 卓越的温度控制：卤素灯的高功率会随着水流速的变化而迅速升温和调整
4. 高效节能：效率超过95%
5. 安全防护：通过对过热、温度异常、压力过大、漏水等异常状态的显示和音响报警，提供最佳的操作安全)
