热交换器

湿法工艺必不可少的直接循环式化学等温装置无污染的热交换器

产品特点

-目标温度维持能力优秀

-具有优异的耐化学性和非粘合性

-使用PTFE和PFA管材的属性

-采用通用温度控制系统，可实现高度控制

-装有泄漏传感器和双金属保护设备免受化学溶液的污染和过冷和过热

脱气系统

脱气模组 – DIW (纯水)

二氧化碳注入

S-Zero系列(Static Electricity Zero)是利用气体隔膜使超纯水中的碳酸气体饱和,抑制静电的装置。

产品特点

- 与其他公司产品相比，实现成本节约

- 可根据客户要求更改产品规格

- 解决系统运行时消耗的超纯水排放问题，节省客户公司的维护费用

- 实现紧凑尺寸

参数表

晶片传感器

- 检测硅和其他半透明晶圆

- 晶片映射传感器在保持可靠检测的同时，加快检测过程速度

应用领域

- 8寸专用晶圆计数器

- 噪音引起的误感知最小化

浓度计

● 产品特点

1. 浓度计 : 测定溶液中特定成分量的仪器

浓度测量仪(浓度计) : 物理浓度测量仪器(根据传感器值的变化计算浓度)

 

浓度分析仪(分析仪) : 化学浓度测量仪器(根据分析试剂消耗量计算浓度)

2. 直排的 实时浓度计

通过安装在药品循环/供应线上的传感器实时测量并与设备进行通信的浓度计

 

工业设备中使用的大多数浓度计都是在线实时浓度计

3. 各类浓度计传感器的特点

电导率浓度- 适用药品 : HF,H2SO4,TMAH,KOH etc.

 

超声波浓度计- 适用药品 : TMAH, H2O2, IPA etc.

 

光学浓度计- 适用药品 : SC1, SC2, SPM, H2O2, HF etc.

涡流流量计

● 产品特点

1. 体积小，质量高，精度高，响应速度快

2. 液体流量计采用New PFA制造

3. 输出方式支持两种，模拟输出和脉冲输出